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近日，晶盛电机自立研发制造的12英寸半导体级单晶炉顺遂交付全世界知名硅片制造商——芬兰Okmetic。 Okmetic作为业界领先的硅片制造商，专注在为MEMS、传感器、射频滤波器及功率器件范畴提供高附加值定制化硅片解决方案，客户笼罩全世界领先半导体企业。 据先容，本次交付的12英寸半导体级单晶炉是晶盛电机于晶体生长范畴的焦点技能结果之一，具有高精度、高不变性、高主动化等自研技能。装备严酷遵照半导体级工艺尺度设计制造，并提供更矫捷、更简便以和更隐私的二次开发平台，共同客户实现自立及保密的工艺历程开发和设定，充实满意客户对于高品质、低缺陷密度单晶年夜硅片的严苛出产要求。
